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脉冲激光技术在半导体晶圆切割中的应用

作者: 来源: 浏览次数: 日期:2017/6/28 8:16:09

  晶圆切割专家沈阳和研科技:]随着晶圆集成度大幅提高,晶圆趋向于轻薄化,传统的很多加工方式已经不再适用,于是在部分工序引入了激光技术。

  在诸多激光技术中脉冲激光特别是超短脉冲激光在精密加工领域应用又尤为广泛,超短脉冲激光是指激光单个脉冲宽度达到甚至小于10-12秒(即皮秒)这个量级的激光。
  由于激光脉冲时间宽度极短,在某个频率(即一定脉冲个数)下需要释放设定的激光功率,单个脉冲的激光功率就是固定的,将单个脉冲的能量在极短的时间释放出去,造成瞬时功率极高(兆瓦及以上),瞬间改变材料性质,平均功率很低对材料加工区域热影响很小的加工效果即激光冷加工。