您现在的位置:首页 > 产品中心 > 精密划片机

精密划片机

  • 查看DS620-6寸精密划片机原图
  • 查看DS620-6寸精密划片机原图
  • 查看DS620-6寸精密划片机原图

产品详情描述

DS620--精密划片机Precision Dicing Saw

 
超高精度精密划片机 
全高端配置,主要应用于超高精度加工领域
硬件配置方面:
采用进口大功率直流主轴,性能更优良,主轴具备自锁功能,更换刀片更方便;
使用进口高精度丝杠、导轨,运动精度更高;
θ轴采用DD马达驱动,精度高,速度快;
配备非接触测高(NCS)。
软件方面:
采用DS-300软件控制系统,搭配触摸屏,GUI交互界面,操作方便;新增图像识别功能,可实现自动对准切割,有效提高了生产效率;并具备多片工件同盘切割功能。
 
选配:
双镜头,对准精度更高
刀片破损检测功能(BBD)
磨刀台功能
自动寻边功能
数据扫码录入功能
 
可精密切割材料:硅片、砷化镓、铌酸锂、氧化铝、陶瓷、玻璃、石英、蓝宝石、电路板
 
应用领域:IC、光学光电、通讯、LED、MEMS、医疗器械
 
机器安全保护
低气压、低水流量、工作台伺服、转台驱动、主轴驱动、测高系统、控制系统的故障报警,开舱门停机报警,漏电保护和真空不足保护功能。     
 
DS620技术参数

配置与性能

加工尺寸

φ6″或≤160mm×160mm

切槽深度

≤4mm或 定制

工作台平整度

±0.005mm/150mm

对准系统

70x直光+环光 (240x选配)

主轴

转速范围

600060000rpm

输出功率

1.8kW (2.4kW选配)

X轴

驱动方式

伺服电机

工作台左右行程

240mm

行程分辨率

0.001mm

速度设定范围

0.1~500mm/s

Y轴

驱动方式

步进电机+光栅闭环控制系统

主轴前后行程

170mm

行程分辨率

0.0001mm

单步定位精度

≤0.002mm/5mm

全程定位精度

≤0.004mm/170mm

Z轴

驱动方式

步进电机

主轴上下行程

30mm

行程分辨率

0.001mm

重复定位精度

0.002mm

θ轴

驱动方式

DD马达

转角范围

380°

转角分辨率

0.0002°

基础规格

电源

,AC 220V±10%

耗电量

加工时  0.8kW

暖机时  0.7kW

压缩空气

压力0.55~0.8Mpa平均流量450L/min

切削

压力0.20.4Mpa;流量3.5L/min

冷却水

压力0.20.4MPa;流量1.5L/min

排风量

2m3/min ANR

             外形尺寸W×D×H

605mm×850mm×1680mm

重量

550kg 

使用条件:

1. 请将机器设在20~25℃的环境中(波动范围控制在±1℃以内);室内湿度<80%,无凝结。

2. 请使用大气压露点在-15℃以下,残余油份为0.1ppm,过滤度在0.01um/99.5以上的清洁压缩空气。

3. 请将切削水的水温控制为室温+2℃(波动范围在±1℃以内),冷却水的水温控制为与室温相同(波动范围控制在±1℃以内)。

4. 请避免设备受到重力撞击以及外界任何振动威胁。另外,请不要将设备装在鼓风机、通风口、产生高温的装置以及产生油污的装置附近。

5.请把本设备安装在有防水性地板以及有排水处理的场所。

6.请严格按照本公司产品使用说明书进行操作。