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精密划片机

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产品详情描述

DS616--精密划片机Precision Dicing Saw

 
升级配置,提升设备性能
DS616精密划片机软件部分采用DS-200控制系统,搭配触摸屏操控方式,图像对准简单方便,操作更便利;硬件部分配备大功率主轴,DD马达驱动,精度更高,进一步提升了切割性能。
 
特点:
主轴气压、水压、电流时时监测,减少主轴损伤 
切割范围均可根据客户需求进行适当调整,提高生产效率
可做160mm×160mm方形盘的增强功能
可选配图像自动识别功能
可选配NCS(非接触测高)功能
设备结构合理,方便维护保养,减少故障率
自动化程度高
 
可精密切割材料:   硅片、砷化镓、铌酸锂、氧化铝、陶瓷、玻璃、石英、蓝宝石、晶体、PCB板
 
应用领域:二极管、三极管、MEMS、IC、LED、NTC、光伏、医疗器械、闪烁晶体
 
机器安全保护:含低气压、低水压、工作台伺服、转台伺服、主轴驱动、测高系统、控制系统的故障报警以及开舱门停机报警功能。

 

DS616技术参数

配置与性能

加工尺寸

φ6″或≤160mm×160mm

切槽深度

≤4mm或 定制

工作台平整度

±0.005mm/150mm

对准系统

70x直光+环光 (210x选配)

主轴

转速范围

3000~40000rpm

输出功率

1.5kW 

X轴

驱动方式

伺服电机

工作台左右行程

240mm

行程分辨率

0.001mm

速度设定范围

0.1~400mm/s

Y轴

驱动方式

步进电机+光栅闭环控制系统

主轴前后行程

170mm

行程分辨率

0.0005mm

单步定位精度

≤0.003mm/5mm

全程定位精度

≤0.005mm/170mm

Z轴

驱动方式

步进电机

主轴上下行程

30mm

行程分辨率

0.001mm

重复定位精度

0.002mm

θ轴

驱动方式

DD马达

转角范围

380°

转角分辨率

0.0002°

基础规格

电源

,AC 220V±10%

耗电量

加工时  0.8kW

暖机时  0.7kW

压缩空气

压力0.55~0.8Mpa平均流量350L/min

切削

压力0.20.4Mpa;流量3.0L/min

冷却水

压力0.20.4Mpa;流量1.5L/min

排风量

2m3/min ANR

        外形尺寸W×D×H

665mm×850mm×1650 mm

重量

500kg 

 
使用条件:
1. 请将机器设在20~25℃的环境中(波动范围控制在±1℃以内);室内湿度<80%,无凝结。
2. 请使用大气压露点在-15℃以下,残余油份为0.1ppm,过滤度在0.01um/99.5以上的清洁压缩空气。
3. 请将切削水的水温控制为室温+2℃(波动范围在±1℃以内),冷却水的水温控制为与室温相同(波动范围控制在±1℃以内)。
4. 请避免设备受到重力撞击以及外界任何振动威胁。另外,请不要将设备装在鼓风机、通风口、产生高温的装置以及产生油污的装置附近。
5.请把本设备安装在有防水性地板以及有排水处理的场所。
6.请严格按照本公司产品使用说明书进行操作。